본 발명은 압축공기를 이용하여 기판의 표면을 냉각함과 아울러 냉각시 기판의 표면에 공기 중의 습기가 응결하여 물방울이 생기는 현상을 방지하는 평판디스플레이 기판의 전기적 특성 시험을 위한 냉각 및 방습 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 압축공기의 유량과 유압을 조절하는 유량 유압 콘트롤러와, 공급된 압축공기를 냉기류와 온기류로 분리 형성하는 냉온기 형성부와, 이 냉온기 형성부로부터 배출된 냉기류를 적절한 온도로 가열하는 히터와, 이 히터에 의해 온도가 조절된 상태로 배출되는 냉기류를 평판디스플레이 기판의 표면으로 분출하여 기판의 표면을 냉각하는 냉기류 분출 노즐과, 분출되는 냉기류의 주변으로 온기류를 분출하여 기판의 방습을 행하는 방습부를 구성 요소로 포함하고 있다. 본 발명은 기존의 써모 스트림 장치에 함께 설치되어 사용됨으로써, 상온 이상의 높은 온도 조건에서뿐만 아니라 상온 이하로 냉각된 저온에서도 FPD 기판에 대한 전기적 특성을 시험할 수가 있어, FPD 제품의 성능에 대한 신뢰성을 향상시키는 데에 이바지하게 되는 효과가 있다. FPD, 냉각, 저온, 습기, 방습, 보텍스, 히터