Методами газовой хроматографии и ИК-фурье-спектроскопии высокого разрешения определено содержание углерода в виде углеводородов С1 С4 в тетрафториде кремния природного изотопного состава на стадии его получения и глубокой очистки, а также в обогащенном изотопом 28Si веществе. Содержание примесей углеводородов С1 С4 в исходном для синтеза SiH4 тетрафториде кремния коррелирует с их содержанием в получаемом силане.