본 발명은 실리콘 잉곳의 절단공정에 있어서, 종래품보다 윤활성이 우수하기 때문에, 절삭가공 효율을 향상시킬 수 있고, 또, 물과 실리콘의 반응에 의한 인화성의 수소 발생이 억제되기 때문에, 안정성이 우수하고, 또한 기포 발생이 적기 때문에 순환사용에 있어서 기포 등의 문제를 일으키지 않는 수용성 절삭액을 제공한다.
탄소수(카보닐기의 탄소를 포함한다)가 4~10인 1가 혹은 2가의 지방족 카복실산(A), 및 아래 수식(1)로 표현되는 ΔpKa가 0.9~2.3인 다가 유기산(B) 또는 당해 유기산(B)의 염(BA)을 필수 성분으로 함유하는 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 슬라이스용 수용성 절삭액.
ΔpKa = (pKa 2 ) － (pKa 1 ) (1)
다만, n염기산 H n A인 유기산(B)이 H n －1 A ＋ H ＋ 가 되는 해리단을 1로 했을 때의 산해리정수를 pKa 1 ； H n －2 A ＋ H ＋ 가 되는 해리단을 2로 했을 때의 산해리정수를 pKa 2 로 나타낸다.