본 발명에 의하면, 우수한 반사 방지 특성을 갖고, 우수한 내찰상성 및 방오성을 갖고, 또한 지금까지 문제시된 적이 없었던 미미한 백화의 발생이 억제된 반사 방지 필름을 용이하게 제조할 수 있는 제조 방법, 반사 방지 필름, 및 상기 필름을 사용한 편광판 및 화상 표시 장치를 제공한다. 공정 (1) 불소 함유 화합물, 미립자 및 바인더 수지를 적어도 함유하는 저굴절률층 형성용 조성물을 투명 기재 상에 도포하여 도막을 형성하는 공정, 공정 (2) 상기 도막을 저굴절률상과 방오상으로 상 분리시키는 공정, 및 공정 (3) 상기 저굴절률상과 상기 방오상을 가열하여, 또는 상기 저굴절률상과 상기 방오상에 전리 방사선을 조사하여, 저굴절률층과 상기 저굴절률층의 전체면을 덮는 방오층을 형성하는 공정을 순서대로 포함하는, 적어도 투명 기재, 저굴절률층 및 방오층을 순서대로 갖고, 상기 방오층 측으로부터 X선 광전자 분광법(XPS)에 의해 측정한 불소 원자/탄소 원자 비가 0.6 내지 1.0이고, 또한 규소 원자/탄소 원자 비가 0.25 미만이고, 상기 방오층의 평균 면 거칠기(Ra')가 10㎚ 이하인 반사 방지 필름의 제조 방법이다.