본 발명의 노광헤드 및 노광장치는 공간 광변조소자에 대해서, 그 기판 상에 배열된 화소부의 전체 개수보다 적은 개수의 복수의 화소부 각각을, 노광정보에 따라 생성한 제어신호에 의해서 제어한다. 즉, 기판에 배열된 화소부의 전부를 제어하는 일없이, 일부의 화소부를 제어하고 있다. 그 때문에, 제어하는 화소부의 개수가 적게 되고, 제어신호의 전송속도가 전체 화소부의 제어신호를 전송하는 경우보다 짧게 된다. 이것에 의해서, 레이저광의 변조속도를 빠르게 할 수 있고, 고속 노광이 가능하게 된다. 레이저장치로서는, 레이저광을 합파하여 광 파이버에 입사시키는 합파 레이저 광원을 포함하는 파이버 어레이 광원이 바람직하다. 합파 레이저 광원을 이용함으로써, 고휘도, 고출력을 얻을 수 있고, 공간 광변조소자의 노광에 바람직하다. 특히, 발진파장 350~450nm의 반도체 레이저는 단일 소자에서의 고출력화가 어렵지만, 합파에 의해 고출력화를 도모할 수 있다. 또한, 어레이화하는 광 파이버의 개수가 적게 끝나고, 저비용이다. 또한, 광 파이버의 개수가 적으므로, 어레이화했을 때의 발광영역이 더욱 작게 된다(고휘도화된다). 본 발명의 노광장치는 광 조형장치 등 각종 응용이 가능하다.