본 발명의 구체예들은 콘포말한 탄소-기반 물질의 증착에 관한 것이다. 일 구체예에서, 본 방법은 기판 위에 사전결정된 두께를 갖는 희생 유전체 층을 증착시키고, 희생 유전체 층의 일부들을 제거하여 기판의 상부 표면을 노출시킴으로써 기판 상에 패턴화된 피쳐들을 형성시키고, 가공 챔버에 탄화수소 소스, 플라즈마-개시 가스, 및 희석 가스를 도입하되, 탄화수소 소스 : 플라즈마-개시 가스 : 희석 가스의 부피 유량이 1:0.5:20의 비이고, 플라즈마를 약 300℃ 내지 약 500℃의 증착 온도에서 발생시켜 패턴화된 피쳐들 및 기판의 노출된 상부 표면 상에 콘포말한 비정질 탄소 층을 증착시키고, 패턴화된 피쳐들의 상부 표면 및 기판의 상부 표면으로부터 비정질 탄소 층을 선택적으로 제거하고, 패턴화된 피쳐들을 제거하는 것을 포함한다.
본 발명은 올리빈 결정 구조의 리튬철인산화물 제조 방법 및 이에 의하여 제조된 내부에 탄소를 포함하고 표면이 탄소로 코팅되는 올리빈 결정 구조의 리튬철인산화물에 관한 것이다.
본 발명의 제조 방법에 의하여 제조된 올리빈 결정 구조의 리튬철인산화물은 내부에 탄소 화합물을 포함하고 표면이 탄소 코팅되어 본 발명의 리튬철인산화물을 포함하는 이차 전지는 높은 전기전도성 및 율 특성을 나타낸다.
본 발명은 저렴한 재료를 사용하여 백금 등의 고가의 귀금속 촉매의 촉매능을 향상시켜 보다 고활성의 촉매로 함으로써 귀금속 촉매의 사용량을 감소시킬 수 있는 연료 전지용 전극 촉매, 상기 고활성 전극 촉매를 이용한 연료 전지, 상기 고활성 전극 촉매를 이용한 막전극 결합체, 및 상기 고활성 전극 촉매를 이용한 가스 확산 전극을 제공한다. 이러한 본 발명은 난흑연화성 탄소를 주성분으로 하고, 구조 중 일부에 난층 구조를 갖는 탄소 재료에 귀금속 입자가 담지되어 있는 연료 전지용 전극 촉매, 또는 상기 촉매와 카본 블랙에 귀금속 입자가 담지되어 있는 촉매가 혼합되어 있는 연료 전지용 전극 촉매, 또는 상기 촉매와 카본 블랙이 혼합되어 있는 연료 전지용 전극 촉매를 사용함으로써 달성된다. 연료 전지용 전극 촉매, 연료 전지, 난흑연화성 탄소, 난층 구조, 귀금속 입자, 탄소 재료, 카본 블랙, 탄소 나노양파, 막전극 접합체, 고체 고분자 전해질, 가스 확산 장치