• Physics
  • Published 2019

Visualisierung von mikro- und nanoskalierten Oberflächenstrukturen mittels abbildender Ellipsometrie

@inproceedings{Fischer2019VisualisierungVM,
  title={Visualisierung von mikro- und nanoskalierten Oberfl{\"a}chenstrukturen mittels abbildender Ellipsometrie},
  author={Daniel Fischer and Uwe Beck},
  year={2019}
}
In den letzten Jahren hat die Einbindung der abbildenden Ellipsometrie in die Gruppe der optischen Verfahren zur Oberflachencharakterisierung ein enormes Potential bei der Analyse von topologischen Strukturanderungen gezeigt. Der dabei abgebildete Kon-trast wurde typischerweise auf Anderungen im Brechungsindex, Absorptionseffekte oder Schichtdickenanderungen zuruckgefuhrt. In spateren Studien wurde festgestellt, dass auch andere Faktoren, wie etwa die Krummung der Oberflache oder Kanten von… CONTINUE READING