Verwendung von Schwingquarzen zur Wägung dünner Schichten und zur Mikrowägung

@article{Sauerbrey1959VerwendungVS,
  title={Verwendung von Schwingquarzen zur W{\"a}gung d{\"u}nner Schichten und zur Mikrow{\"a}gung},
  author={G. Sauerbrey},
  journal={Zeitschrift f{\"u}r Physik},
  year={1959},
  volume={155},
  pages={206-222}
}
ZusammenfassungWird eine Fremdschicht auf eine zu Dickenscherungsschwingungen angeregte Schwingquarzplatte aufgebracht, so ändert sich die Eigenfrequenz der Platte infolge Vergrößerung der schwingenden Masse. Da die Frequenzänderung eines Schwingquarzes sehr genau vermessen werden kann, ergibt sich daraus eine sehr empfindliche Methode zur Wägung dünner Schichten.Massenbelegung der Fremdschicht und Frequenzänderung sind einander proportional. Die Proportionalitätskonstante läßt sich aus der… Expand
Einfluss der Geometrie von Elektroden und Sensorschichten auf das Schwingungsverhalten von Langasit-Resonatoren
Auf dem hochtemperaturstabilen piezoelektrischen Material Langasit basierende Resonatoren können als Gassensoren genutzt werden, indem die Auswirkung von Änderungen der elektrischen und mechanischenExpand
Die Quarzmikrowaage: Eine neue Meßtechnik zur in‐situ‐Untersuchung des Phasengrenzbereiches fest/flüssig
Als im Altertum Konig Hieron von Syrakus Archimedes vor die Frage stellte, ob ein fur ihn handgearbeitetes Stirnband aus purem Gold gefertigt wurde, befestigte dieser das Stirnband und einen KlumpenExpand
Massenspektrometrische Untersuchung der Nanopartikelbildung in vorgemischten Niederdruckflammen
Die vorliegende Arbeit umfasst Untersuchungen zu Bildung und Wachstum von Eisenoxid- und Wolf-ramoxid-Nanopartikeln in einem vorgemischten Niederdruckflammenreaktor bei Zugabe von Eisenpenta¬carbonylExpand
Untersuchung einer Herstellungstechnologie für Feldeffekt-Transistoren auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren
Seit der Erfindung der integrierten Schaltung in den 1960er Jahren wird die Skalierung elektronischer Bauelemente dem Postulat von Moore folgend immer weiter vorangetrieben. Die Skalierung desExpand
Principle of a non-contact liquid level sensor using electromagnetic-acoustic resonators
TLDR
The concept of electromagnetic-acoustic resonators as the ultrasonic transducer is introduced and the changed frequency shifts and damping characteristics due to interference effects instead of the time-of-flight measurements usually employed are measured. Expand
Entwicklung eines Zwölfkanal-Sensorenarrays und einer automatisierten Messanlage zur Kontrolle von Emanationsmustern mittels neuronaler Netze
Die Detektion von Gasanalyten ist von besonderer Relevanz in den Bereichen der Lebens- und Genussmittelanalytik, sowie in der Abfallentsorgung, Giftstoffkontrolle, in der Arbeitsplatzsicherheit undExpand
Anisotropic atomic motion in FePt thin films
Die Dynamik von Atomen zeigt die thermodynamischen und mechanischen Eigenschaften von Festkorpern in ihrer fundamentalen Form. Die Festkorperphysik teilt die Bewegung der Atome in Schwingungen undExpand
Morphologische Transformation der Silizium (112) Oberfläche durch Metalladsorption: Facettierung vs. Stabilisierung
In den letzten Jahren haben Halbleiter-Nanodrahte ein enormes Comeback in der weltweiten Forschung erlebt. Aufgrund vielfaltiger Anwendungsmoglichkeiten, oder der Hoffnung auf diese, wurden dieExpand
Modellierung von modifizierten Ultraschallwandlern zur chemisch/biologischen Anwendung in Flüssigkeiten
Ziel dieser Arbeit ist die Entwicklung und Modellierung von Sensoren fur das Forschungsgebiet der Life Science. Diese sollen mittels des Mass-Loading-Prinzips kleine Massenanderungen in FlussigkeitExpand
Modellbasierte Entwicklung der Betriebselektronik für eine Rasterkraftsonde im Frequenzmodulationsverfahren zum Messen technischer Oberflächen
Die vorliegende Arbeit behandelt die Neuentwicklung der Betriebselektronik fur eine Rasterkraftsonde die im Frequenzmodulationsverfahren betrieben wird. Rasterkraftsonden haben das PotenzialExpand
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