Verwendung von Schwingquarzen zur Wägung dünner Schichten und zur Mikrowägung

@article{Sauerbrey1959VerwendungVS,
  title={Verwendung von Schwingquarzen zur W{\"a}gung d{\"u}nner Schichten und zur Mikrow{\"a}gung},
  author={G{\"u}nter Sauerbrey},
  journal={Zeitschrift f{\"u}r Physik},
  year={1959},
  volume={155},
  pages={206-222}
}
  • G. Sauerbrey
  • Published 1 April 1959
  • Physics
  • Zeitschrift für Physik
ZusammenfassungWird eine Fremdschicht auf eine zu Dickenscherungsschwingungen angeregte Schwingquarzplatte aufgebracht, so ändert sich die Eigenfrequenz der Platte infolge Vergrößerung der schwingenden Masse. Da die Frequenzänderung eines Schwingquarzes sehr genau vermessen werden kann, ergibt sich daraus eine sehr empfindliche Methode zur Wägung dünner Schichten.Massenbelegung der Fremdschicht und Frequenzänderung sind einander proportional. Die Proportionalitätskonstante läßt sich aus der… 

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