• Art
  • Published 1995

Systeme de rinçage de tranches et groupe de filtrage

@inproceedings{Mohindra1995SystemeDR,
  title={Systeme de rinçage de tranches et groupe de filtrage},
  author={Raj Mohindra and Abhay K. Bhushan and Rajiv Bhushan and Suraj Puri},
  year={1995}
}
Systeme de rincage de tranches, servant a eliminer les produits chimiques et les particules presents sur les tranches, sans introduire de nouvelles substances contaminantes. Ce systeme reduit la quantite de particules denombrees sur les tranches, par le filtrage de l'eau et du gaz utilises pendant le rincage. Il comprend une unite de rincage (1), un groupe de filtrage d'eau local (2), un systeme de filtrage de gaz local (3), une unite d'injection de H2O2 (4), une unite supplementaire d… CONTINUE READING