Sub-nm-Topographiemessung mit hochgenauen Autokollimatoren (Sub-nm Topography Measurement using High-accuracy Autocollimators)

@inproceedings{Geckeler2002SubnmTopographiemessungMH,
  title={Sub-nm-Topographiemessung mit hochgenauen Autokollimatoren (Sub-nm Topography Measurement using High-accuracy Autocollimators)},
  author={R. D. Geckeler and A Just and Rebekka Probst and I. Weing{\"a}rtner},
  year={2002}
}
Im ersten Teil der Arbeit wird gezeigt, dass hochauflösende elektronische Autokollimatoren mithilfe eines Winkelkomparators auf Grundlage der Kreisteilung mit einer Unsicherheit von weniger als 0,01” (50 nrad) kalibriert und damit direkt auf die SI-Einheit Radiant des ebenen Winkels rückgeführt werden können. Im zweiten Teil wird eine Anwendung hochgenauer Winkelmesstechnik vorgestellt, eine Scanning-Anlage zur ultrapräzisen Messung der Topographie von nahezu planen optischen Flächen… CONTINUE READING