RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

@inproceedings{2009RFMS,
  title={RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성},
  author={김종욱 and 김민석 and 이인환 and 김덕규 and 김홍배 and 황창수 and 박용헌},
  year={2009}
}