• Published 2001

PECVD装置 (液晶ディスプレイ技術2001年) -- (液晶ディスプレイ製造技術編)

@inproceedings{Marxer2001PECVD,
  title={PECVD装置 (液晶ディスプレイ技術2001年) -- (液晶ディスプレイ製造技術編)},
  author={Alex Marxer and Laurent Dobost and Rainer Ostermann},
  year={2001}
}