• Corpus ID: 126804498

Modélisation et simulation multidimentionnelle des contraintes mécaniques en technologies silicium avancées

@inproceedings{Hoffmann2000ModlisationES,
  title={Mod{\'e}lisation et simulation multidimentionnelle des contraintes m{\'e}caniques en technologies silicium avanc{\'e}es},
  author={Thomas S{\"o}ren Hoffmann},
  year={2000}
}
La reduction des dimensions des dispositifs microelectroniques reste a ce jour le meilleur moyen d'ameliorer les performances des circuits integres. Dans cette perspective, la maitrise des contraintes mecaniques generees au sein des dispositifs devient incontournable. L'identification des etapes critiques responsables de l'apparition de defaillances est souvent delicate car les origines possibles sont multiples (variations thermiques, oxydations, siliciurations, depots et gravures). La… 
Compréhension de l'apport des contraintes mécaniques sur les performances électriques des transistors avancés sur SOI
L’evolution des performances des dispositifs microelectroniques se heurte aux limites de la miniaturisation. Les contraintes mecaniques constituent un levier potentiel pour depasser ces limitations.
Numerical analysis of the process-induced stresses in silicon microstructures
Residual stresses can significantly affect the performances of silicon micro-structures. The understanding of the residual stress growth during their processing is of great importance. However, the