Corpus ID: 136131508

Microstructure and piezoelectric properties of PZT/Pt nanocomposite thin film

@article{Matsudaira2015MicrostructureAP,
  title={Microstructure and piezoelectric properties of PZT/Pt nanocomposite thin film},
  author={Kaishi Matsudaira},
  journal={The Japan Society of Applied Physics},
  year={2015}
}
  • Kaishi Matsudaira
  • Published 2015
  • Materials Science
  • The Japan Society of Applied Physics
  • 【はじめに】近年、ドメインエンジニアリングをはじめとした、圧電体薄膜の微構造を制御する ことで圧電特性を向上させる技術が注目されている。特に、歪み傾斜構造と呼ばれる二層境界面 の存在は、圧電特性の向上に寄与すると言われており、このような構造を実現するための不均一 組織の導入が数多く検討されている。そこで本研究では、Pb(Zr,Ti)O3; PZT薄膜に Ptナノコロイド を分散させることで同様な構造が形成されることを期待し、PZT薄膜内に混在する Ptナノコロイ ドの分散の形態が、圧電特性に与える影響について系統的に調査したので、その結果について報 告する。 【実験・結果】PZT(125/40/60)前駆体溶液に Pt(平均粒径 2 nm)濃度 4 wt% の PtPVP エタノール溶 液を様々な体積分率で混合し、その混合溶液を Pt/Ti/SiO2/Si上に塗布し、スピンコート回転数 3000 rpm, 40 秒間回転させ、薄膜を作製した。150°C, 1分間の乾燥及び、350°C, 3分間の仮焼とスピン コートを目的の膜厚になるまで繰り返した後に、650°C, 10… CONTINUE READING

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