Eigenspannungen, Haftfestigkeit und Verschleißeigenschaften von gesputterten, amorphen Aluminiumoxidschichten

@inproceedings{Roth1987EigenspannungenHU,
  title={Eigenspannungen, Haftfestigkeit und Verschlei{\ss}eigenschaften von gesputterten, amorphen Aluminiumoxidschichten},
  author={Th. Roth and Erhard Broszeit and Karl Heinz Kloos},
  year={1987}
}
Mit Hilfe des reaktiven Hochfrequenz-Magnetronkathodenzerstaubungsverfahrens wurden dunne Aluminiumoxidschichten auf Stahlsubstraten abgeschieden. Aufgrund der relativ niedrigen Substrattemperaturen (< etwa 250°C) zeigen die Schichten eine amorphe Rontgenstruktur. Messungen der Schichteigenspannungen, die mittels der Biegestreifenmethode durchgefuhrt wurden, zeigten, das sowohl von der Schichtdicke als auch von Beschichtungsdruck und -leistung starke Einflusse auf den… CONTINUE READING