Dispositif mems et plaques d'interconnexion associées

@inproceedings{Lewis2006DispositifME,
  title={Dispositif mems et plaques d'interconnexion associ{\'e}es},
  author={Alan Lewis and Manish Kothari and John Batey and Teruo Sasagawa and Ming-Hau Tung and Gregory U'ren and Stephen Zee},
  year={2006}
}
Cette invention concerne un dispositif a systemes microelectromecaniques presentant une plaque d'interconnexion electrique entre la circuiterie a l'exterieur du dispositif et au moins une electrode (16), et une couche amovible (14) a l'interieur du dispositif. Au moins une partie de la plaque d'interconnexion electrique est formee a partir du meme materiau que le materiau d'une couche conductrice entre l'electrode (14) et une couche mecanique (92) du dispositif. Dans un mode de realisation, la… CONTINUE READING