Diagnostics et modelisation des decharges radiofrequences dans le silane et l'helium

@inproceedings{Bohm1992DiagnosticsEM,
  title={Diagnostics et modelisation des decharges radiofrequences dans le silane et l'helium},
  author={C. Bohm},
  year={1992}
}
Ce travail represente une approche pour une meilleure comprehension des mecanismes de dissipation de l'energie dans des decharges radiofrequence rf couplees capacitivement dans un reacteur a plasma en configuration diode. Une des applications de ces decharges rf est la production de dispositifs en couches minces de a-si:h. La premiere partie concerne la description du dispositif experimental ainsi que les diagnostics pour la mesure des differents parametres caracterisant une decharge rf, tels… CONTINUE READING

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