Cinétiques de condensation et de croissance de couches minces amorphes de bioxyde de titane synthétisées, par condensation de plasmas froides (pulvérisation réactive diode) sur de la silice fondue

@inproceedings{Martin1971CintiquesDC,
  title={Cin{\'e}tiques de condensation et de croissance de couches minces amorphes de bioxyde de titane synth{\'e}tis{\'e}es, par condensation de plasmas froides (pulv{\'e}risation r{\'e}active diode) sur de la silice fondue},
  author={B. Laville Saint Martin and A. Collange},
  year={1971}
}
Resume Dans ce memoire, on considere les evolutions en fonction du temps de la quantite de matiere condensee et de l'epaisseur de couches minces amorphes de TiO 2 synthetisees par pulverisation reactive diode sur des substrats de silice fondue. Les resultats obtenus pour diverses conditions experimentales confirment le modele reactionnel des processus de germination croissance. En particulier on montre experimentalement que le mecanisme de croissance isoepitaxique, procede de la repetition… CONTINUE READING