704 TiN薄膜の摩擦摩耗特性に及ぼす成膜後加熱処理の影響(GS-3 傾斜機能・薄膜)

@inproceedings{2008704T,
  title={704 TiN薄膜の摩擦摩耗特性に及ぼす成膜後加熱処理の影響(GS-3 傾斜機能・薄膜)},
  author={裕貴 田邉 and 徹 高松 and 良夫 三好 and 裕美 前川},
  year={2008}
}

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