Corpus ID: 92345018

5a-X-3 CBED法よるイオン打ち込みされたSi中の欠陥の研究

@inproceedings{19975aX3C,
  title={5a-X-3 CBED法よるイオン打ち込みされたSi中の欠陥の研究},
  author={文彦 上杉 and 吉男 菊地 and 正隆 加勢 and 和人 渡辺 and 巌 橋本},
  year={1997}
}
  • 上杉 文彦, 菊地 吉男, +2 authors 橋本 巌
  • Published 1997