5a-X-3 CBED法よるイオン打ち込みされたSi中の欠陥の研究
@inproceedings{19975aX3C,
title={5a-X-3 CBED法よるイオン打ち込みされたSi中の欠陥の研究},
author={文彦 上杉 and 吉男 菊地 and 正隆 加勢 and 和人 渡辺 and 巌 橋本},
year={1997}
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