Corpus ID: 126050823

2D beam steering by using slow light waveguide arrays

@article{Mori20162DBS,
  title={2D beam steering by using slow light waveguide arrays},
  author={H. Mori and X. Gu and A. Matsutani and F. Koyama},
  journal={The Japan Society of Applied Physics},
  year={2016}
}
  • H. Mori, X. Gu, +1 author F. Koyama
  • Published 2016
  • Materials Science
  • The Japan Society of Applied Physics
  • 2D beam steering by using slow light waveguide arrays ○森 裕之 1, 顧 暁冬 1, 松谷 晃宏 2, 小山 二三夫 1 1東工大・精研, 2半導体 MEMSプロセス技術センター ○Hiroyuki Mori1, Xiaodong Gu1, Akihiro Matsutani2 and Fumio Koyama1 1Tokyo Tech.・P&I Lab., 2Semiconductor and MEMS Processing Center E-mail: mori.h.ap@m.titech.ac.jp 1.はじめに 従来の MEMSやポリゴンミラーを用いたビーム掃引デ バイスでは機械式であるため安定性,掃引速度,小型化 に課題があった.[1] その問題に対し,本研究グループでは AlGaAs 系 Bragg 反射鏡(DBR)導波路を用いて非機械式の ビーム掃引を行い,解像点数 1,000 を超える高解像度ビー ム掃引を実現した.[2]このデバイスでは導波路方向への 1次元ビーム掃引のみであった. 本研究では AlGaAs… CONTINUE READING