Corpus ID: 181458160

27p-H-10 高周波放電Ar-NH_3分子線プラズマの諸特性

@inproceedings{198727pH10,
  title={27p-H-10 高周波放電Ar-NH_3分子線プラズマの諸特性},
  author={正文 山田 and 明弘 黒沢 and 英明 福冨 and 徹 内山 and 茂 小野 and 信力 堤井 and J. S. Chang},
  year={1987}
}