Corpus ID: 176679659

27aYA-5 HAADF-STEMによるイオン打ち込みしたSi中のAs原子の同定

@inproceedings{199927aYA5H,
  title={27aYA-5 HAADF-STEMによるイオン打ち込みしたSi中のAs原子の同定},
  author={貴司 山崎 and 吉男 菊地 and 和人 渡辺 and 正博 川崎 and 詢 塩尻 and 巌 橋本},
  year={1999}
}
  • 山崎 貴司, 菊地 吉男, +3 authors 橋本 巌
  • Published 1999