• Published 2012

컬러필터의 제조 방법, 컬러필터 및 고체 촬상 소자

@inproceedings{2012,
  title={컬러필터의 제조 방법, 컬러필터 및 고체 촬상 소자},
  author={야스오 스기시마 and 미츠지 요시바야시 and 카오루 아오야기 and 유시 카네코 and 무로 나오츠구},
  year={2012}
}
본 발명은 (a) 제 1 착색 조성물로 제 1 착색층을 형성하여 복수의 제 1 착색 화소를 형성하는 공정; (b) 드라이 에칭에 의해 상기 제 1 착색층을 패터닝하여 상기 제 1 착색층에 복수의 제 1 스루홀을 형성하는 공정; (c) 상기 제 1 착색층 상에 제 2 착색 조성물로 제 2 착색층을 적층하여, 상기 제 2 착색 조성물이 상기 제 1 스루홀 각각의 내부에 매립되어 복수의 제 2 착색 화소를 형성하는 공정; (d) 드라이 에칭에 의해 상기 제 2 착색층을 패터닝하여, 상기 제 1 스루홀과는 별도로 복수의 제 2 스루홀이 상기 제 1 착색층에 형성되어 복수의 제 1 착색 화소를 형성하는 공정; (e) 상기 제 1 착색층 상에 제 3 착색 조성물로 제 3 착색층을 포함하는 1층 이상의 착색층을 적층하여, 상기 제 3 착색 조성물이 상기 제 2 스루홀 각각의 내부에 매립되어 복수의 제 3 착색 화소를 형성하는 공정; 및 (f) 상기 제 1 착색층 상에 적층된 1… CONTINUE READING