Corpus ID: 186949582

유전막을 포함하는 반도체 소자

  title={유전막을 포함하는 반도체 소자},
  author={임재순 and 조규호 and 최재형 and 김윤수},
  • 임재순, 조규호, +1 author 김윤수
  • Published 2008
  • 유전막을 갖는 반도체 소자를 제공한다. 이 소자는 기판 및 기판 상에 배치되고, 도핑 원자들로 도핑된 하프늄 산화막을 포함한다. 도핑 원자의 이온 크기는 하프늄 원자의 이온 크기보다 크고, 도핑된 하프늄 산화막은 정방정계 단위 격자들을 포함한다. 

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