반사형 편광판의 제조방법

@inproceedings{2008,
  title={반사형 편광판의 제조방법},
  author={김재진 and 김태수 and 신부건},
  year={2008}
}
본 발명은 반사형 편광판 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은, (S11) 투명 기재 상부면에, 제1금속재로 이루어진 금속박막층 및 감광재층이 순차로 상향 적층된 적층물에 대해 레이저 빔으로 선택적으로 노광시키고, 이후 현상액으로 현상하여 감광재층을 감광재 패턴층으로 변형시키는 단계; (S12) 상기 감광재 패턴층의 노출된 상부면 및 측벽면을 감싸도록 제2금속재로 이루어진 식각마스크층을 형성하는 단계; (S13) 상기 금속박막층의 상부면이 선택적으로 노출되도록 상기 감광재 패턴층과 상기 감광재 패턴층과 면하여 접촉되어 있는 식각마스크층을 현상액으로 현상하여 동시에 제거하는 단계; (S14) 상기 금속박막층 상부에 잔존하는 식각마스크층을 마스크로 이용하되, 상기 제1금속재의 식각속도가 상기 제2… CONTINUE READING