다단 슬라이드형 기판이송장치

@inproceedings{2011,
  title={다단 슬라이드형 기판이송장치},
  author={정휘운 and 김동호},
  year={2011}
}
본 발명은 다단 슬라이드형 기판이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다단 슬라이드형 기판이송장치는 기판을 이송하는 기판이송장치에 있어서, 구동부; 상기 구동부로부터 동력을 전달받아 베이스 상에서 왕복운동하는 슬라이딩부; 상기 슬라이딩부의 측부의 상호 이격된 위치에 장착되어 상기 슬라이딩부의 왕복운동시에 회전회동하는 한 쌍의 회동부재와, 상기 한 쌍의 회동부재를 상호 연결하여 상기 회동부재의 회전과 연동하여 주행하는 벨트부재로 구성되는 동력전달부; 상기 기판을 적재하여 이송하되, 상기 슬라이딩부의 이동시에 상기 벨트부재와 함께 이동하도록 상기 벨트부재에 장착되는 기판이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다. 이에 의하여, 이송암의 스트로크(stroke)는 증가시키되, 이송암의 회전반경은 최소화할 수 있는 다단 슬라이드형 기판이송장치가 제공된다. 

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