検査機器 表面欠陥の検出が可能な曲がるアレイプローブ「曲探」の開発 : 凹凸・湾曲・隙間・粗表面などに対応可能な広帯域・高感度アレイプローブ

@inproceedings{2015,
  title={検査機器 表面欠陥の検出が可能な曲がるアレイプローブ「曲探」の開発 : 凹凸・湾曲・隙間・粗表面などに対応可能な広帯域・高感度アレイプローブ},
  author={生也 吉野},
  year={2015}
}