Corpus ID: 224661573

レーザ顕微鏡、レーザ光走査装置、レーザ光走査方法、画像データ生成方法

@inproceedings{Fujita2003,
  title={レーザ顕微鏡、レーザ光走査装置、レーザ光走査方法、画像データ生成方法},
  author={K. Fujita and S. Kawada and O. Nakamura and Shinichi Takimoto and 收 中村 and 聡 河田 and 真一 瀧本 and 克昌 藤田},
  year={2003}
}
【課題】試料断面のビデオデータ生成可能なレーザ顕微鏡を提供する。 【解決手段】レーザ光源101から射出した平行光は、Zスキャニング光学系103に入射する。Zスキャニング光学系103は、レンズ間の光軸方向の相対距離を変化させることによって、射出光の角度を変化させることができる。これにより、レーザ光による試料のZ方向のスキャンを可能となる。Zスキャニング光学系からの射出光は、レゾナントガルバノミラー106に入射する。レゾナントガルバノミラーの回転振動によって、レーザ光による試料のX方向のスキャンを可能となる。レゾナントガルバノミラーによる反射光は、対物レンズ110によって試料に集光される。試料からの発光は、検出器114によって検出される。検出器からの検出信号が画像処理装置115に入力し、所定の処理を行われて、表示装置に試料の画像が表示される。 【選択図】 図1