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レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)技術はフェ ムト秒レーザーパルスを半導体に照射し、放射されるテラヘル ツ(THz)波を検出、イメージ化する技術である[1]。太陽電池では 変換効率の維持、向上のために表面での再結合速度を低減する パッシベーション技術が重要である。我々はこれまで SiOx膜、 SiNx膜において ITO 電極を用いた LTEM 測定と電気容量-電圧(More)