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1,は じ め に 精密機器 の高精 度化 に ともな い,床 か ら伝 搬 す る振動 を 積極的 に除 去 す るた め に フ ィー ドフ ォ ワー ド(以 下FF) 制御系 を構 成 す るア クテ ィ ブな除 振装 置 の 実用 化 が進 め ら れている。 また床 の振 動 状 況 や支持 機 構 な どの 特性 が変 化 した場合 に も対 応 可能 な適応 フ ィル タ を用 い(More)
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