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近年薄膜材料分野では,ナノオーダーの微細構造や終端官能基成分が,マクロ物性制御を可能 とする因子として重要視されている.しかし従来は,大面積に均一な膜の生成が重要視され,堆 積プロセスのみで微細構造を作る試みはあまりなされていない.そこで本研究では,有機シリコ ンを原料とした有機基含有酸化シリコン系(SiO:CH)薄膜の PECVD 堆積プロセスにおいて,比(More)