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実験方法 プラズマ発光面内分布の測定系を Fig.1に示 す。プラズマ光の測定ポートは 17ポートあり, エッチングチャンバ側面からコリメータレン ズを用いてウェハ直上のプラズマ光を測定す る。各ポートのモニタ範囲は光軸を中心とする 円錐形状(Fig.1の Monitor area)であり,検出 される光はモニタ範囲の積分値となる。各ポー トのモニタ範囲はウェハ中心から 0~267mm離(More)
The correlation between the change in the etching rate of SiN and the change in the monitored plasma impedance was investigated to estimate the capability of critical dimension (CD) prediction with a(More)
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