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【透過光特性評価】 製作した構造にガラス基板 側から光を入射し,透過光特性を評価した.埋 め込み工程の前後における TE 偏光(Au フィン に平行)・TM偏光(Auフィンに垂直)の透過率を Fig. 2 に示す.TE・TM 偏光共に埋め込み後に 透過率が向上している.波長 633 nm における 埋め込み前後の透過率の比は TE 偏光 3.9 倍, TM で 1.5 倍であった.TE(More)