Michael Stewart

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SIAロードマップ上で予測されている微細な寸法目 標を、大変高価である従来から研究されてきた次世代 リソグラフィ(極UV、電子線投影、X線等)に頼らず に達成するため、インプリントリソグラフィ技術は研 究されている。この技術は半導体LSI以外にもマイク ロ電気機械システム(MEMS)、マイクロ光学、およ びパターン化記憶媒体などへの応用が有望視されてい(More)