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Microstructure and piezoelectric properties of PZT/Pt nanocomposite thin film
【はじめに】近年、ドメインエンジニアリングをはじめとした、圧電体薄膜の微構造を制御する ことで圧電特性を向上させる技術が注目されている。特に、歪み傾斜構造と呼ばれる二層境界面 の存在は、圧電特性の向上に寄与すると言われており、このような構造を実現するための不均一 組織の導入が数多く検討されている。そこで本研究では、Pb(Zr,Ti)O3; PZT薄膜に PtナノコロイドExpand