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  • Hyung-Seok Yoon, 윤형석, +5 authors 박일준
  • Chemistry
  • 2010 (First Published: 20 September 2010)
  • 본 발명은 모노머 냉각트랩에 관한 것으로서, 증착 공정 중 발생하는 가스 및 모노머(monomer)를 외부로 배출하는 유로 상에 설치되며, 케이스; 상기 가스 및 모노머가 흡입되는 흡입구; 상기 케이스 내부에 수용되며, 내부에 냉매가 유동할 수 있는 유로가 형성되고, 표면에서 상기 모노머가 부착되며, 상하면을 관통하도록 형성된 관통홀을 구비하는 냉각Continue Reading