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あらまし 極低消費電力の集積回路を実現するためには,低電圧で動作する 3 端子スイッチ素子が必要であ る.近年,量子力学的トンネル電流をゲート電圧で制御するトンネル FET(Field Effect Transistors)が,その steep slope特性による極低電圧動作への期待の観点から,注目されている.本論文では,トンネル FETの動作 原理,性能向上のためのキー技術,中でもトンネル(More)