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ISO/IEC 14598-4(소프트웨어 제품의 구매자 평가 지침)는 소프트웨어 평가에서 무결성 수준의 중요성을 전제로 품질특성의 우선순위를 제시하고 있다. 그러나 이러한 제시는 현실에 적용한 적이 없는 이론적인 것이다. 본 연구에서는 ISO/IEC 14598-4에서 제시한 무결성 수준에 따른 품질특성의 중요도가 타당성이 있는지를 실증하였다. 중요도 산출을(More)
본 논문에서는 근접장 패턴의 깊이와 종횡비(aspect ratio) 향상을 위해 전기장이 적용된 노광후굽기(electric field enhanced postexposure baking) 공정을 제안하였다. 전기장이 적용된 노광후굽기 공정 중 광산(photoacid) 분포를 기술하기 위하여 픽(Fick)의 확산 제 2법칙에 기반을 둔 지배방정식을(More)