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본 발명은, 예를 들어 코발트에 대하여 낮은 정적 에칭을 가지면서 높은 연마 속도, 및 구리에 대한 높은 선택성을 제공하는 코발트의 기계 화학 연마 조성물을 제공한다. 지립 및 하나 이상의 Co 착화제를 포함하는 연마 조성물이며, 상기 연마 조성물은 9 이상의 pH를 갖고, 상기 Co 착화제는, 포스폰산(-P(=O)(OH) 2 )기 또는(More)