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본 발명은 기계적 강도를 보다 높일 수 있는 산화이트륨 재료 및 그 제조 방법을 제공한다. 반도체 제조 장치용 부재인 정전 척(20)의 기체(22)는, 산화이트륨(Y 2 O 3 )과, 탄화규소(SiC)와, RE(희토류 원소)와 Si와 O와 N을 포함하는 화합물을 적어도 포함하는 산화이트륨 재료에 의해 구성되어 있다. 이 산화이트륨 재료는, RE(희토류(More)
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