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전반사 감쇠형 원자외 분광에서, 원자외광의 파장, 측정 대상의 굴절률, 전반사 감쇠 프로브의 광학 재질의 굴절률, 프로브와 측정 대상의 계면으로의 자외광의 입사각에 의해 결정되는 전반사광의 에바네센트 파의 침투 깊이를 원자외 영역의 측정 파장 범위에서 150㎚ 이상으로 하여 전반사광을 측정한다. 여기서, 침투 깊이가 150㎚ 이상이 되도록 선택된 굴절률을(More)