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電磁レンズの非点収差測定方法、非点収差測定装置、非点収差補正方法及び電子線装置
【課題】電磁レンズの非点収差を定量的且つ高精度に測定できる電磁レンズの非点収差測定方法、非点収差測定装置、非点収差補正方法、及び非点収差補正機能を備えた電子線装置を提供する。 【解決手段】SrTiO 3Expand