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  • 晃俊 沖野, 沖野 晃俊, 宮原 秀一, 大場 吾郎
  • Materials Science
  • 2006 (First Published: 4 April 2006)
  • 液体導入プラズマシステムは、プラズマが生じるプラズマ室と、プラズマ室でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、液体を直線上に噴出してプラズマ室に入れる噴出装置と、を備えている、液体導入プラズマシステムであり、微少量の液体をプラズマに供給でき、プラズマを発生する電力を低減できるものである。