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Grooved SiO₂ 박막을 갖는 Mach-Zehnder(M-Z)형태의 Ti:LiNbO₃ 진행파 광변조기의 전극구조를 변화시켜가며 유한요소법에 의한 해석을 수행하였다. 최적의 설계치를 추출하였으며, 제작된 전극에 대하여 특성임피던스 (Z o ), 마이크로파 유효굴절률 (N eff ), 감쇠정수 (α o )를 측정하여 그 결과를 이론치와 비교하였다.(More)
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