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パ―ティクルモニタ―方法
(57)【要約】 【課題】 ウェハ上空間に存在するパーティクルをin −situ・リアルタイムで計測し、パーティクル誘起 不良の発生を事前に防止する。 【解決手段】 プロセス装置12中に浮遊しているパー ティクルによるレーリー散乱光やラマン散乱光を受光器 13で電気信号に変換し、信号強度判定器14に伝達す る。この判定器には、予めパーティクル発生状況とウェExpand
Selectively buried growth method
PURPOSE: To obtain a selectively buried growth method wherein a plurality of contact holes different in depth are buried at the same time. CONSTITUTION: By using the fact that CVD is generated onExpand