上杉文彦

Publications
Influence

菊地吉男, 上杉文彦, 加勢正隆, 吉田正道, 渡辺和人, 橋本巌
16 August 1994

Cleaning end point detection device and the cleaning end point detection method

上杉文彦, 伊藤奈津子, +4 authors 青森勝
Computer Science
26 November 1999

N. Ito, F. Uesugi, 上杉文彦, 伊藤奈津子
30 March 1999

(57)【要約】【課題】ウェハ上空間に存在するパーティクルをｉｎ −ｓｉｔｕ・リアルタイムで計測し、パーティクル誘起不良の発生を事前に防止する。【解決手段】プロセス装置１２中に浮遊しているパーティクルによるレーリー散乱光やラマン散乱光を受光器１３で電気信号に変換し、信号強度判定器１４に伝達する。この判定器には、予めパーティクル発生状況とウェ… Expand

3a-M-13 イオン打ち込みされたSiの回復過程でのSb析出物III

上杉文彦, 渡辺和人, 橋本巌
15 March 1996

Selectively buried growth method

F. Uesugi, 上杉文彦
Materials Science
24 February 1992

PURPOSE: To obtain a selectively buried growth method wherein a plurality of contact holes different in depth are buried at the same time. CONSTITUTION: By using the fact that CVD is generated on… Expand

30-P1-131 東広島医療センターにおける緩和ケアチーム活動の評価(がん薬物療法,社会の期待に応える医療薬学を)

藤川和大, 河相景子, +12 authors 上杉文彦
1 September 2007

臨床経験顔面神経麻痺における味覚・聴覚異常と予後

顔面神経麻痺の予後評価における Blink Reflex R1 波の意義

Apparatus for preventing contamination by peeling product due to the electric field

上杉文彦, 伊藤奈津子, 板垣洋輔
Materials Science
29 June 2006

レーザ光散乱法を用いたタングステン熱CVD装置内発塵のモニタリングとプロセス開発 (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)

守屋剛, 伊藤奈津子, 上杉文彦
2001

上杉 文彦