Learn More
複素環式アミンとアミン窒素1モルあたり約2.8モル〜約3.2モルの無水フッ化水素との反応により形成される100℃未満の融点を有するイオン液体。 また、このイオン液体を含有する非水電解液を有する電気化学デバイス、ならびに、このイオン液体を含有する酸化ケイ素エッチング組成物と、アルミニウムの存在下で組成物をエッチングすることにより酸化ケイ素を選択的に除去するエッチング方法も開示する。
  • 1