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基板搬送用ロボットの為のエンドエフェクタ・アセンブリが全般的に提供される。 一実施形態において、基板搬送中、四辺形基板を支持する為のエンドエフェクタ・アセンブリは、第1端部で配置された内縁部支持体と、末端部で配置された第1外縁部支持体と、を有するエンドエフェクタを含む。 エンドエフェクタの第1端部は、ロボットリンク機構に結合するように適合されている。(More)